TSTGT蓝宝石晶体位错腐蚀形貌分析

摘要

采用化学腐蚀-金相显微镜法,利用熔融的KOH对顶部籽晶温度梯度法(TSTGT)生长的直径320 mm的蓝宝石单晶中不同部位的晶片做了位错腐蚀形貌分析。研究表明,(0001)面的位错腐蚀坑呈三角形,腐蚀晶界具有延伸性。对比不同腐蚀时间、不同腐蚀温度和不同表面粗糙度下的腐蚀效果,发现使用KOH腐蚀剂在400℃腐蚀15min时,效果最好。表面粗糙度越小,位错图像越清晰。