大型臭氧发生器用复合陶瓷基板的制备与性能

摘要

采用凝胶注模成型工艺近净尺寸原位成型了性能优良的臭氧发生器用复合陶瓷基板。该陶瓷材料的介电常数达到80以上,介质损耗16KV/mm,满足了大型臭氧发生器对介电体高介电常数、高击穿电压和低介质损耗的需要。该成型工艺克服了干压、流延成型等工艺对材料性能造成的不利影响。通过实验,确定了大规格超薄复合陶瓷基板的成型、干燥和烧成制度,测定了复合陶瓷基板在不同条件下的各种物理及电性能参数,并采用SEM方法对复合陶瓷基板进行了显微结构分析。实验结果表明:应用凝胶注模成型方法,可以获得高密度、高均匀性和高性能的臭氧发生器用复合陶瓷基板。用此复合材料制造的臭氧发生器在电源频率为30KHz,电压为3000V,电耗为18KW·h/kgO3的情况下,臭氧产量为1000g/h。