改进的二步法生长双层、异型硅外延材料

摘要

在双层、异型硅外延中，通常采用预通掺杂剂二步外延法。本文对掺杂剂预通过程中产生的气一固扩散进行理论及实验研究，分析了预通条件（温度、时间、预通量等）对气一团扩散的影响，提出了减小Ｐ－Ｎ过渡区改进的二步外延法。