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王向武; 马利行; 徐红钢; 陆春一;
南京电子器件研究所;
硅外延; 异型; 高阻; 厚层; 自掺杂;
机译:高阻硅对厚微孔硅层的研究
机译:具有纳米晶硅钝化层的高阻硅衬底上的射频电感器
机译:高电阻厚硅外延层
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机译:集成低电容二极管的掺砷高电阻率硅外延层
机译:在14nm厚的Nisi层上的伪外延转子结构 [001]硅
机译:研究外延硅层作为辐射硬化硅探测器的材料
机译:一种用于具有嵌入扩散层的外延硅晶片中的硅外延层的膜厚测量装置和膜厚测量方法,以及用于使用该膜厚测量装置或膜厚测量方法制造具有嵌入扩散层的外延硅晶片的方法。
机译:具有厚的外延层的高电阻硅晶片及其制造方法
机译:垂直MOS晶体管的生产包括在硅衬底上外延沉积由硅锗制成的本征牺牲层,沉积高掺杂硅层并进一步处理
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