利用单波长激光器构造远紫外光源

摘要

用于光学印刷的远紫外光源可以分为两类:一类是用在曝光照明和其他高功率应用,另一类是用在测量工具上.对于曝光的感光材料,平均功率很高的准分子激光器是可选的光源。而对于测量工具,只要求很低的光学功率,因此可通过小功率、单波长的固体激光器来获得,这样就无须处理有毒气体.通常。