基于激光干涉法的曲率半径精密检测系统

摘要

为了满足光学元件曲率半径精密检测的需求，设计了应用激光干涉方法的曲率半径精密检测系统，实现了对口径100~300 mm，曲率半径500~2000 mm光学元件曲率半径的高精度，非接触式测量。并分析了影响曲率半径测量结果的各项不确定度，进行不确定度合成。最终完成曲率半径精密检测系统的装调，进行验证实验，曲率半径测量结果相对不确定度约7×10-6，满足了10×10-6的设计要求。