高真空拉制硅单晶

摘要

＜正＞本文分析了在用直拉法拉制单晶时,热场性质随真空度不同而变化的规律。真空高到一定程度,即气体分子自由程小于炉膛尺寸时,使气体分子由导热状态转入“绝热”状态,致使热场纵向温度梯度明显减小。通过调整热场