微分干涉对比显微镜及其在半导体工艺中的应用

摘要

本文介绍了日本欧林巴斯BH-M-NIC型反射式微分干涉对比显微镜（以下简称NIC显微镜）的工作原理,及其在硅光导摄象管和集成电路研制过程中的应用.实践证明其性能较好,一些用普通金相显微镜观察不到的硅片表面损伤和缺陷,用NIC显微镜观察,清晰可见,而且犹如彩色浮雕一般富有立体感.同时NIC显微镜还具有黑白和彩色胶片自动照相装置,使用十分方便,这种显微镜是半导体工艺中对硅片镜检观察,发现问题的好工具.