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半自动单探针扩展电阻法测量电阻率

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本文介绍了扩展电阻的基本概念,扩展电阻测量的原理、装置、操作及测量结果和讨论.本半自动化测量系统.对于ρ在-3～几十欧姆·厘米的硅单晶,其测量精确度达10%之内.

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来源
《半导体技术》 |1980年第1期|30-36|共7页
作者
赵瑞瑶; 韩春阳;
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作者单位

1446所;

1446所;

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正文语种 chi
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