一种基于伪测量值法的微区电阻率测量装置和结果显示方法

摘要

本发明涉及一种基于伪测量值法的微区电阻率测量装置和结果的显示方法，该装置包括箱体、控制系统模块、通信模块、密封门、测试平台柱、测试平台、吸气管、电机、扇叶、木塞、通风道、测试槽、电极、吸气孔、液晶显示屏。所述测试平台不涉及复杂的电机控制，而且利用吸力控制测试片与电极的接触电阻，测量更加精确。该微区电阻率测量装置运用伪测量值法进行测量，同时与手机APP相结合，测量简单方便，更加智能化。一种硅片微区电阻率结果的显示方法，可以更直观形象的显示出待测试片电阻率的均匀性，从而判断待测试片是否符合工业要求。