首页> 中文期刊> 《半导体技术》 >CZ硅片热处理中若干问题探讨

CZ硅片热处理中若干问题探讨

开具论文收录证明 >>

文献代查 >>

团队文献服务 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

本文讨论了集成电路用直拉单晶硅片热处理时的几个问题.提出了用于MOS电路和双极型电路硅片的内吸除处理工艺及原始硅材料的质量要求.

著录项

来源
《半导体技术》 |1984年第5期|50-53|共4页
作者
徐岳生; 张维连; 任丙彦;
展开▼
作者单位

河北工学院;

河北工学院;

河北工学院;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类
关键词

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 快速预热处理对大直径CZ-Si中FPDs及清洁区的影响 [J] . 张建强 ,刘彩池 ,周旗钢 . 半导体学报：英文版 . 2006 ,第1期
2. 硅中的缺陷和硅片热处理 [J] . 闵靖 ,邹子英 . 上海有色金属 . 2000 ,第4期
3. 硅片在快速热处理系统中的温度测量 [J] . 贺宗琴 . 计测技术 . 1995 ,第5期
4. 大型井式热处理炉炉坑通风改造工程设计中若干问题的探讨 [J] . 龙凯臣 . 通风除尘 . 1989 ,第1期
5. 热处理节能减排与清洁生产若干问题的探讨 [J] . 吴光治 . 机械制造与自动化 . 2010 ,第1期
6. 热处理节能减排与清洁生产若干问题的探讨 [C] . 吴光治 . 2011年南京市科协年会——提高高端智能装备水平推进机械工程创新发展专题高层论坛 . 2011
7. 非法持有枪支罪司法适用中若干问题探讨--以赵春华非法持有枪支案为例 [A] . 李月一 . 2017

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号