PECVD氮化硅及其在MIS—IL太阳电池中的应用

摘要

本文对在不同工艺条件下制备的等离子氮化硅膜的光学、电学等特性进行了研究,摸索出作为MIS—IL太阳电池抗反射膜的最佳工艺条件。并将等离子氮化硅用于MIS—IL硅太阳电池的研制,获得了转换效率13.5%（AM1.5,100mW/cm~2,25℃）的实验结果。