单晶生长过程的自适应控制

摘要

本文讨论了对象特性缓慢时变,并具有确定性扰动和随机干扰作用下的单晶生长过程的自适应控制。对采用广义最小方差控制的自校正控制器及引入前馈信号而使系统具有较好的品质指标进行了分析。介绍应用 DJS-131型计算机实现的“过程-FORTRAN-Ⅳ 自校正控制在线软件包”在 TDR-60型单晶炉单晶生长过程实时控制的初步结果。