椭偏术双入角法测定薄膜光学参数与厚度

摘要

运用“数值空间映射”概念讨论了椭偏术双入射角法测定薄膜的光学参数折射率（n）、消光系统（K）与厚度（d）的反演计算中出现的集合解现象。通过设置一个评价函数（Fu）,用电子计算机来考察求解的结果,获得样品n、K与d的合理数值。用TP-77型单色椭偏仪对磁控反应溅射工艺制备的不锈钢-氧、不锈钢-一氧化碳与钛-氮三种复台薄膜材料的椭圆参量（∧,（?））,经计算机处理确定了这些样品的n、k与d值,和用（TYLASTEP及DEKTAKⅡA）台阶式测厚仪直接测得的薄膜厚度、透射—反射法确定的n、k的数值比较一致。这样,采用一台椭偏仪,以双入射角法能方便、经济又可靠地一次确定薄膜的光学参数n、k与厚度d。