低温泵电子束蒸发镀膜机的应用研究

摘要

本文在扼要地叙述CDM-450低温泵电子束蒸发镀膜机的性能和特点的同时,计算了ZDB-200型低温泵在蒸发和烘烤除气时的热负载。用SIMS和sEM对几种膜层质量进行了分析,结果表明CDM-450型镀膜机是一种较好的新型镀膜设备。