电子诱导表面化学态变化的俄歇分析

摘要

本工作主要研究了超高真空环境中(6.7×1018Pa)多晶Al、Mo、Cu表面在3keV能量电子束的轰击下,表面化学态的变化。利用AES（俄歇电子能谱）中的一些化学态讯息,对电子诱导表面化学态变化的过程进行了观察,并对这些变化的机理进行了探讨。