二元锰钒氧化物薄膜的制备及室温铁磁性研究

摘要

本工作采用磁控溅射技术在蓝宝石衬底上制备了钒氧化物（VOx）磁性薄膜，研究了共沉积Mn元素对VOx表面形貌及铁磁性的影响。结构与形貌表征结果表明：本文制备的VOx薄膜是一种化学计量比在V2O3与VO2之间的纯相钒氧化物薄膜，Mn元素的引入使VOx晶格发生轻微畸变，并且导致VOx的形貌由纳米棒状结构演化为球状；磁学性能结果表明：VOx薄膜呈现出室温铁磁性，随着Mn元素含量的增加，薄膜的饱和磁矩先增大后减小，Mn元素与V元素比例为1∶1时，表面形貌最规则且具有最大饱和磁矩345 emu/cm~3。