分子束外延生长液晶光阀用ZnSxSe1-x薄膜的研究

摘要

描述了ZnSxSe1-x光盲紫外液晶光阀的结构和工作原理 ,并从器件的电学模型出发 ,着重讨论了整体器件对ZnSxSe1-x光敏层的特殊要求。采用分子束外延技术在ITO导电玻璃上制备了具有 （111）面定向生长结构的ZnSxSe1-x多晶薄膜 ,通过控制反应时的生长参数 ,制备出了符合器件设计要求的光敏层薄膜。室温下 ,该薄膜的紫外 /可见光响应对比度大于10 3 ;响应波长截止边可通过控制薄膜中的Se组分 ,在 （36 0～ 4 10 ）nm范围内连续可调 ;薄膜的暗电阻率在 （4 32× 10 9～ 2 0 3×10 11）Ω·m之间 ,并随着晶粒的增大而减小 ;在液晶光阀工作的低频段 （＜2 0 0Hz） ,其光 /暗阻抗比在 0 2 2～ 0 36之间。