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周斌; 黄文俊; 何野; 魏同立;
东南大学微电子中心;
机译:具有恶劣环境下的原始多晶硅布局的绝缘体上多晶硅压力传感器的设计
机译:高温压力传感器的敏感元件由掺杂的多晶硅金刚石形成
机译:压力范围对多晶硅压阻MEMS压力传感器电阻率(TCR)温度系数的影响
机译:用于齿轮齿面接触压力分布测量的薄膜压力传感器的研制(引线膜共用多点压力传感器的压力分布测量)
机译:具有集成放大器的压阻式压力传感器,使用金属感应的横向结晶多晶硅实现。
机译:在左心室辅助装置中进行控制入口压力传感器的研制
机译:基于纳米多晶硅薄膜压力传感器的TPMS
机译:用于低频和动态压力测量的压电聚合物薄膜压力传感器的研制
机译:多晶硅蓝宝石无油压力传感器
机译:蓝宝石上多晶硅缺油压力传感器
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