4H-SiC功率肖特基二极管可靠性研究进展

摘要

4H-SiC功率器件作为一种宽禁带半导体器件,凭借突出的材料优势具有耐压高导通电阻低散热好等优势。近年来随着器件的逐步商用,器件的可靠性问题成为新的研究热点。综述了本课题组近期在4H-SIC功率二极管可靠性方面的研究进展,通过高温存储和高压反偏可靠性问题的研究,分析了器件性能退化机制。通过重复雪崩可靠性问题的研究,提出了一种可有效提升器件抗重复雪崩能力的终端方案。