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李明昊; 杨拥军; 任臣; 付迪;
中国电子科技集团公司第十三研究所;
石家庄050051;
河北美泰电子科技有限公司;
微电子机械系统(MEMS)惯性器件; Σ-Δ调制器; 斩波放大器; 高速动态比较器; 回踢噪声;
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机译:6轴mems惯性传感器村田,截止到3月开始量产adas的高精度化贡献
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