热轧变形量对半导体用NiCr溅射靶组织和磁性能的影响

摘要

分析了半导体用NiCr溅射靶受到热轧作用后发生的组织与磁性能的变化,研究了不同的NiCr合金显微组织结构对其磁性产生的影响及两者间的相互作用。研究结果表明:在NiCr合金中存在大量FCC晶单相镍基固溶体,逐渐增大热轧变形量后,其形成了宽度更大的衍射峰。当热轧变形量提高后,(100)晶面发生了择优取向,取向度先增大、再降低,其余晶面保持取向度基本不变。在热轧前,NiCr合金基体内未形成位错,对各热轧组织进行BSE表征测试,均表明NiCr合金中形成了更细小的晶粒。在磁滞回线中心区域,经过热轧处理后,形成了更多的磁滞回线封闭区,矫顽力与剩余磁感应强度显著增强。热轧阶段形成了恒定的饱和磁感应强度,提高热轧变形程度后,合金获得了更大的矫顽力。