位置敏感探测器的响应时间分析

摘要

位置敏感探测器(PSD)的响应时间直接影响其动态探测入射光位置的准确性。分析了电势堆积现象,以四边形二维PSD为例,建立了PSD响应时间的仿真模型,分析了对响应时间的影响因素。结果表明,PSD响应时间随着光敏面大小、p型层电阻值以及级间电容的增大而同比例增大;在PSD器件的结构参数和物性参数不变的情况下,光源入射能量与器件的响应时间无关。