共轭距可变的光刻投影物镜光学设计

摘要

一种用于印刷电路板（PCB）的激光直接成像（LDI）光刻设备，需要加工高密度互连（HDI）基板的厚度变化范围为0．025～3mm，为此设计了一种共轭距可变的光刻投影物镜。采用双远心光路结构，通过压缩物方和像方远心度误差的办法，可以有效地实现共轭距变化范围达3mm。采用正负光焦度合理匹配，可以有效地在共轭距变化范围内很好地校正波像差、畸变等像差，实现良好的成像质量。以光刻投影物镜光学设计的具体实例，证实了通过压缩物方和像方远心度误差的办法，可以有效地获得共轭距变化一定范围的光刻投影物镜，并在该变化范围内保证实际光刻设备所要求投影物镜的成像质量。