射频功率及工作气压对微型ICP激发源光谱强度的影响

摘要

利用自制的一种新型基于PCB镀金技术的微型ICP激发源（频率为13.56 M Hz）成功激发空气与甲烷等离子体,分析不同工作气压和射频功率对样品气体的激发效果的影响。数据表明,射频功率处于5~25 W范围内甲烷谱线强度呈增强趋势,10~25 W范围时空气谱线强度呈增强趋势。样品气体流量改变导致压强变化时光谱信号强度是先增强后减弱,转折点为40 Pa。40 Pa之前时谱线信号强度随压强增大呈上升趋势,但是压强轻微的变化导致信号图斜率的变化非常明显,不适于定量分析。40~60 Pa谱线信号强度斜率的变化率较小,适于分析。样品气体定量时,加大载气流量改变压强谱线强度信号的变化无明显规律。由此得出该等激发源激发空气与甲烷等离子体稳定的工作条件：射频功率10~25 W,工作气压40~60 Pa。