基于平面螺旋电感的微型ICP激发源

摘要

随着微电子机械系统(MEMS)技术的发展,基于MEMS的光谱仪分光系统和光电检测系统研究报道日益增多,但是微型激发源的研究报道相对较少.文章介绍了一种基于表面微机械加工技术的微型电感耦合等离子体(ICP)激发源,其RF功耗在数瓦以下、氩气消耗量远低于常规ICP激发源.阐述了这种激发源的结构、加工工艺流程及性能指标.同时还介绍了作者设计制作的基于PCB工艺的微型lCP激发源,采用了平面螺旋电感线圈和平面梳状交指电容,在100 Pa氩气气压下用13.56 MHz,3.5 W射频功率激励点rn燃了等离子体火炬,给出了装置的外观微型ICP火炬的照片.最后展望了该微型的ICP激发源在光谱仪中的应用前景.