基于磁控溅射装置工艺要求的可重构控制系统设计

摘要

为了提高磁控溅射装置面对不同工艺需求的适应能力,设计了一种基于西门子PLC以及LABVIEW的控制系统。该系统中不固化具体的工艺流程而是提供工艺流程编辑接口以及对自定义工艺数据进行解析和执行的功能,实现工艺的可重构。本文在实际需求的基础上完成了系统的硬件架构、软件编程以及人机交互界面的设计;通过实践验证了工艺可重构对提高设备的工艺适应性有较大的帮助。