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基于工控机和PLC的真空磁控溅射镀膜设备控制系统设计

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摘要

磁控溅射镀膜技术在薄膜制备领域广泛应用,控制系统的设计对磁控溅射镀膜设备的稳定运行有着重要的影响.介绍了基于嵌入式一体化工控机和PLC的真空磁控溅射镀膜设备电气自动控制系统的硬件构成、系统原理、系统功能,论述了其设计思路及方法,并重点叙述了OMRON CJ系列PLC在控制系统中的应用.

著录项

来源
《科技情报开发与经济》|2009年第31期|117-120|共4页
作者
杨晓东; 柳森娟; 刘锋敏;
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作者单位

中国电子科技集团公司第二研究所,山西太原,030024;

中国电子科技集团公司第二研究所,山西太原,030024;

中国电子科技集团公司第二研究所,山西太原,030024;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类自动化系统;
关键词
磁控溅射镀膜技术; 可编程控制器; 工控机;
入库时间 2023-07-24 16:59:52

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