金刚石MEMS三维谐振器的设计与加工

摘要

微谐振器和陀螺仪因微机电系统(MEMS)水平的不断提升而被广泛关注和学习。采用MEMS设计和制造的微型传感器,因成本低、微尺寸和低耗能等特征而被广泛应用工程领域,在导航、消费电子等航空航天及相关高尖端领域具有广阔的发展前景。谐振器是组成陀螺仪重要组成部分,其相关性能的优良将会直接影响陀螺仪的操作精度。本文主要依据金刚石对MEMS三维谐振器的设计与加工,使所设计的三维谐振器具有良好的操作精度。