Michigan State University.;
机译:用于RFMEMS谐振器的多晶金刚石技术
机译:用于传感器应用的多晶金刚石MEMS谐振器技术
机译:多晶金刚石在MEMS谐振器薄膜封装工艺中的应用
机译:品质因数最高的多晶金刚石RFMEMS谐振器
机译:用于MEMS封装的CVD多晶金刚石(poly-C)薄膜技术。
机译:包括神经微电极阵列的多晶金刚石MEMS生物传感器
机译:低温超纳米晶TM金刚石RF MEMS谐振器的特性
机译:室温和高温下多晶硅和金刚石mEms的疲劳和断裂