机译:用单晶金刚石MEMS谐振器对高可靠性磁感测的磁性敏感Fega膜的耦合
机译:用单晶金刚石MEMS谐振器对高可靠性磁感测的磁性敏感Fega膜的耦合
机译:单晶金刚石微机电谐振器与磁性敏感加仑膜集成,用于磁性传感
机译:加强型加仑酚/ Ti /单晶金刚石谐振器高温下的δ2效应,用于磁感测
机译:Fe-B(001)单晶膜在旋转磁场下的磁致伸缩行为
机译:锆酸钛酸铅薄膜,用于压电激励和MEMS谐振器传感。
机译:单晶Pt装饰WO3超薄胶片:室温下低于ppm的氢感测平台
机译:低温超纳米晶TM金刚石RF MEMS谐振器的特性
机译:大面积镶嵌金刚石薄膜接近单晶质量