磁控溅射石墨镀层的减摩性能

摘要

对经硫酸法硬质阳极氧化处理的ZL-101铸铝,采用磁控溅射法镀覆石墨镀层,将石墨微粒填充到多孔性氧化膜内以达到减摩作用.用扫描电镜(SEM)、电探波谱(WDS)和X射线光电子能谱(XPS)技术,对膜层形貌和石墨在膜层内的分布状态作了分析;用PMJ-Ⅰ型平面磨耗试验机和MM-200磨损试验机对膜层耐磨性进行了测定.结果表明,石墨离子可渗入到膜的内层,镀层结合牢固,表观光滑,膜的耐磨性得到显著提高.