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吕宏让;
无;
敏感芯片; 集成硅; 压阻传感器;
机译:到压阻效应开放的50周年 - 压阻传感器的历史和发展的发展
机译:CMOS集成式多晶硅压阻式压力传感器
机译:集成了压阻传感器的热驱动硅微型xy位移台,用于纳米定位
机译:集成硅压阻传感器的表压和差压传感器-适用于广泛的温度范围
机译:具有集成放大器的压阻式压力传感器,使用金属感应的横向结晶多晶硅实现。
机译:6轴应力张量传感器使用多方面硅压阻器
机译:具有玻璃-硅-玻璃夹心结构的单片集成压阻MEMS加速度计压力传感器
机译:用于压阻式压力传感器的集成CmOs电路,重点是热灵敏度偏移补偿
机译:压阻式绝对压力传感器-在压力传感器中安装了柔性硅集成电路电阻器
机译:微机械压力传感器具有重叠的相邻外延单晶硅和多晶硅区域,从而能够以压阻方式测量压力引起的膜波动
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