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加速度传感器; 耐用型; 压阻; 冲击测量; 感测元件; MEMS; 气体阻尼; 频率响应;
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机译:利用人工丝状Sensillum结构的生物启发式压阻加速度传感器
机译:n型硅压阻器的预应变状态对其压阻的影响
机译:开发了一种完全集成的微机械压阻式加速度传感器/振动传感器,带有集成的空气阻尼器,用于状态监测。
机译:高冲击应用的高重力压阻加速度传感器的设计与应用
机译:具有旋转对称螺旋通道的双轴角度加速度传感器和MEMS压阻性悬臂
机译:校准和使用坚固耐用的新型压阻式压力传感器
机译:制造桥式结构的方法和制造具有相同方法的压阻加速度传感器的压阻加速度传感器的方法
机译:通过使用相同的制造具有桥式压阻器的压阻加速度传感器的桥式结构和方法的制造方法
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