基于晶格结构的单晶硅异向腐蚀的计算机模拟

摘要

单晶硅异向腐蚀技术是制造三维MEMS微结构的重要加工技术.由于单晶硅异向腐蚀加工过程具有低成本和可用于大批量生产的特点,因而得到了广泛的应用.但由于加工是在微米/纳米尺度上进行,使得加工过程难以控制,加工结果难以观测,因此传统的MEMS微结构的研制需要经过反复的试制和修改过程,使得研制周期长、生产质量难以保证.引入加工过程计算机模拟技术,可望大大地缩短MEMS微结构的研制周期,提高其产品质量.文章在研究单晶硅异向腐蚀机制的基础上,建立了基于晶格结构的腐蚀过程模型,模型较好地解决了模拟过程中高时空复杂性的关键技术问题,可在微机上运行,并取得了良好的模拟效果.