半导体工艺流程和器件的辅助设计与仿真软件

摘要

TCAD简介 　　TCAD(Technology CAD)是一种半导体工艺流程和器件方面的计算机辅助设计与仿真软件,它与我们所熟知的电子设计工具EDA(Electronic DesignAutomation)一样,是现代集成电路设计和制备不可缺少的重要工具.但是,在功能范围上,EDA主要包括电路和逻辑功能模拟及线路布局,而TCAD的应用领域则包括半导体工艺流程、器件物理、电学行为和电路缺陷等.……