用微机辅助C-V测试设备测量半导体材料与器件

摘要

电压-电容(C-V)法作为测量半导体的方法已有近30年的历史了。该方法可以测量p-n结、MOS结构,肖特基势垒结的许多参数。随着微机应用的推广和发展,国外现代化的半导体生产厂家都配备了功能齐备,性能良好的微机辅助C-V测试设备。与传统设备相比,微机辅助C-V测试具有速度快、精度高,操作简单,重复性好,一次测量能直接得到多个数据等明显优点。最近我们研制成功了微机辅助C-V测试设备。