微电子机械系统（MEMS）及其在军事领域的应用

摘要

微电子机械系统（MEMS）技术是继微电子技术后又一项重要的新兴技术。介绍了MEMS的基本概念和特点、MEMS的技术基础和制造技术及典型的MEMS产品，并在此基础上重点论述了MEMS在军事领域尤其是在军事电子信息系统中的应用和发展前景。