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多晶硅尾气处理与净化工艺研究进展

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摘要

综述国内外多晶硅的生产工艺及尾气处理方法的研究进展,探讨生产多晶硅的常用6种工艺及其优缺点,重点阐述多晶硅尾气的分离回收技术、从开路控制到闭路控制的发展过程及闭路循环技术的优点.

著录项

来源
《氯碱工业》 |2010年第9期|1-4|共4页
作者
马晔风; 周俊波;
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作者单位

北京化工大学机电工程学院;

北京;

100029;

北京化工大学机电工程学院;

北京;

100029;

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正文语种 chi
中图分类硅及其无机化合物;
关键词
多晶硅; 尾气回收; 分离方法;

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