清华大学光化学蚀刻成型技术新进展

摘要

由清华大学材料科学与工程系承担的“光化学蚀刻成型技术”项目近日通过了教育部组织的成果鉴定。该成果对微电子封装中的关键高技术之一“光化学蚀刻成型技术”进行了系统研究。