离子束增强沉积TiB2薄膜的耐蚀性能研究

摘要

研究了在紫铜基材上用离子束增强沉积法沉积ＴｉＢ２薄膜后，在６００，７００和８００℃的空气中氧化的动力学；在１ＮＨ２ＳＯ４溶液中，用动电位扫描法测定了其极化阻力，用ＳＥＭ观察了其形貌，用俄歇电子谱仪分析了膜的成分，用Ｘ－射线衍射仪研究了膜的微观结构；讨论了ＴｉＢ２薄膜具有优良耐蚀性的机理。