电子束物理气相沉积YSZ热障涂层研究

摘要

热障涂层陶瓷面层常用的材料为6%～8%（质量分数）Y2O3部分稳定的ZrO2（YSZ）。利用电子束物理气相沉积法（EB-PVD）制备了YSZ热障涂层,并对其显微结构、相组成进行了分析。结果表明,YSZ涂层具有典型的EB-PVD制备涂层的柱状晶结构,相成分为t/t′相。