In situ infrared spectroscopic study of cubic boron nitride thin film delamination

著录项

• 来源
  《中国物理：英文版》 |2008年第9期|P.3453-3458|共6页
• 作者

  杨杭生; 张健英; 聂安民; 张孝彬;

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• 作者单位

  Department;

  of;

  Materials;

  Science;

  and;

  Engineering;

  Zhejiang;

  University;

  Hangzhou;

  310027;

  China;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 薄膜的生长、结构和外延;
• 关键词

  红外线光谱学; 氮化硼薄膜; 分层; 傅立叶变换式;

  机译：红外线光谱学;氮化硼薄膜;分层;傅立叶变换式;