溶剂对溶胶-凝胶法制备的掺铝氧化锌透明导电薄膜性质的影响

摘要

采用溶胶-凝胶法在玻璃基底上制备得到了高透光率,高导电性的掺铝氧化锌薄膜.研究了溶剂对薄膜晶体结构,薄膜厚度,表面形貌,光学性质和电学性质的影响,结果表明:在相同的制备条件下,薄膜的厚度随溶剂沸点的升高而降低;低沸点溶剂制备的薄膜由c轴择优取向的六角纤锌矿结构的晶体构成,且比较致密；所有薄膜可见光区的透光率在85％以上；乙二醇独甲醚为溶剂制备的薄膜电阻率最低,为3.0×10-4Ωm.