聚二甲基硅氧烷-铜膜复合电极的压力检测研究

摘要

本文报道了一种利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)-铜膜复合电极进行压力检测的方法和系统.在PDMS-铜膜复合电极上施加压力时,PDMS发生形变并与之接触的铜膜进行摩擦,使铜电极表面电荷密度增加,PDMS-铜膜界面双电层(EDL)电容的电荷量也随之增加.由于双电层电容电容量不变,因此铜膜的电势会随之增加.通过检测铜膜电势的变化,可检测外界压力的变化情况.实验结果表明:检测系统输出电压的变化率正比于外加压力的变化率,输出电压的幅值反比于PDMS薄膜的厚度.因此,根据检测信号的幅值以及变化率,可以判定外加压力的大小以及变化率.本方法具有结构简单、灵敏度高和操作方便等特点,为发展新型柔性无源压力传感器提供了新的思路和方法.