基于ZnO薄膜光学温变特性的光纤布拉格光栅传感器

摘要

ZnO薄膜具备吸收光谱的温变特性,可有效促进光纤布拉格光栅传感器的工作性能,因此设计了基于ZnO薄膜光学温变特性的光纤布拉格光栅传感器.选用高纯度的ZnO靶材在多功能多元镀膜系统中,通过Haruo Takashashi构建计算模型,设计具有光学温变特性的光纤布拉格光栅传感器.其中温度传感头通过将制备好的ZnO薄膜镀于蓝宝石三棱镜斜边面上,结合蓝宝石三棱镜、凸透镜以及光纤面,加强光源利用率,实现光纤布拉格光栅传感器的设计.实验结果表明,所设计的光纤布拉格光栅传感器的波长漂移量会随着ZnO薄膜热膨胀系数不断提高而增加,ZnO薄膜等效折射率大的波长漂移量要比等效折射率小的低;对比多种传感器性能后,发现所设计的传感器温测范围广、响应时间短、测量精准度高.