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高Tc超导薄膜热敏红外探测器的物理特性和工艺研究

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本文对以高T_C超导薄膜为探测元的热敏红外探测器进行了理论分析和模拟设计.对影响器件性能的关键因素——热导G和电阻温度系数α,作了深入的理论分析,得到器件结构参数的最佳设计.在此基础上开展了相关的工艺研究:YSZ缓冲层和YBCO超导薄膜的制备;硅基片的微机械加工技术及YBCO膜的激光刻蚀技术.

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来源
《传感技术学报》 |1993年第3期|1-8|共8页
作者
陈红; 王德宁;
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作者单位

不详;

不详;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类红外探测、红外探测器;
关键词
红外探测器; 超导材料; 物理特性;

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