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锗薄膜的制备及特性研究

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报导了用蒸发法制备半导体锗薄膜的工艺条件,薄膜的结晶特性、电学性质及其压阻效应和热电效应.

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来源
《传感技术学报》 |1996年第3期|18-22|共5页
作者
李长云;
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作者单位

哈尔滨师范大学,哈尔滨,150000;

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正文语种 chi
中图分类一般性问题;
关键词
压阻效应; 热电效应; 锗薄膜; 制备;

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