首页> 中文期刊> 《传感技术学报》 >基于电容器的压力微传感器的研制

基于电容器的压力微传感器的研制

         

摘要

介绍了利用微加工技术制造的电容式压力微传感器的结构设计,主要分析了其工作原理,论证了测量电路的可行性.最后提供了实验数据并和理论值进行了比较,讨论了产生误差的原因.

著录项

相似文献

  • 中文文献
  • 外文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号