电磁激励的硅谐振梁设计和有限元分析

摘要

介绍了电磁激励硅谐振梁的激励和检测原理，给出了双端固支的硅谐振梁谐振频率公式，并利用该公式分析了双端固支梁的谐振频率和梁尺寸的关系．本文利用有限元软件模态分析计算了三种不同的谐振频率情况，并逐一加以比较分析．本文还利用有限元软件对受力弯曲的工字梁做了静态分析，从而得出了在一定磁场力作用下的应力分布图，从而对压敏电阻的设计提供了一定的依据．